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       賀德克壓力傳感器是檢測氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱，也包括丈量高于大氣壓的壓力計以及丈量低于大氣壓的真空計。力敏傳感器的種類甚多、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來表示，但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當對一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時，其電阻率會產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類型，一類是將半導(dǎo)體應(yīng)變計粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱為粘貼型壓阻式傳感器，另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴散電阻，使應(yīng)變計與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱為擴散型壓阻式傳感器。

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       賀德克壓力傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件（或應(yīng)變計）組成。彈性敏感元件的作用是使被測壓力作用于某個面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變，然后由位移敏感元件（見位移傳感器）或應(yīng)變計（見電阻應(yīng)變計、半導(dǎo)體應(yīng)變計）轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號。有時把這兩種元件的功能集于一體，如壓阻式傳感器中的固態(tài)壓力傳感器。